У світі виробництва напівпровідникового обладнання,якість поверхні – це не лише естетика-це функція, довговічність і точність. Такі компоненти, як пластинчасті патрони, кріплення для об’єктивів і прецизійні напрямні, мають відповідати не лише допускам на розміри, а йекстремальні вимоги до обробки поверхні, часто нижчеRa 0,1 мкм.
Чому обробка поверхні нанометрового-рівня має значення
Високо{0}}ефективне напівпровідникове обладнання значною мірою залежить від точності контактів і сумісності з чистими приміщеннями. Шорсткість поверхні, що перевищує нанометрові пороги, може:
Заважатиточність розміщення пластин
Збільшеннятертя і зноспід час руху
причинарозсіювання оптичного сигналу, що впливає на фотолітографію
Створитипастки частинок, збільшуючи ризик зараження
Наприклад, aопорне кільце вафельного столиказ шорсткістю поверхні, що перевищує специфікацію, може спричинити мікро-вібрацію, що знижує точність позиціонування та знижує врожайність.
Виклик обробки з ЧПУ
Досягнення якості обробки поверхні Ra менше або дорівнює 0,1 мкм виходить далеко за рамки стандартних процесів з ЧПК. Традиційні інструменти та параметри часто залишають мікро-подряпини, сліди від обробки або залишкову напругу-, що є неприйнятним у напівпровідникових середовищах.
Наш підхід до якості на-нанометрового рівня
наБІШЕН Точність, ми розробили робочі процеси обробки спеціально для чутливих-поверхневих застосувань:
Використаннянад-дрібнозернисті твердосплавні інструментиіз спеціальною геометрією
Полірувальні пропускиінтегровані в кінцеві траєкторії
Системи контролю охолоджуючої рідинищоб уникнути мікро-розривів,-спричинених теплом
Узгодження сКІМ та інтерферометри-білого світлаперевірити шорсткість
Кожна деталь проходить багатоетапну-перевірку не лише на допуски розмірів, але й насуб{0}}мікронна консистенція поверхніпо всіх контактних площинах.
Справжній випадок: дзеркальні-пластини для пластин
Клієнту були потрібні алюмінієві вафельні пластини з обробкою поверхні краще ніжRa 0,05 мкмрівномірно по всьому приладу. Використовуючи оптимізовані високошвидкісні-методи фінішної обробки та індивідуальні стратегії полірування, ми постачаємо компоненти,-які перевищують специфікації,-підготовлені до збирання в чистих приміщеннях на рівні EUV.
Не дозволяйте обробці поверхні підірвати вашу систему
Недосконалість поверхні на нанорозмірі може скомпрометувати ваші найточніші механізми. Якщо ваша заявка вимагаєоптичний{0}}клас обробки, абочудові характеристики тертя, поговори з нами. Ми допоможемо переконатися, що ваші частини відповідають обомтерпимістьітекстура.
