У галузі виробництва напівпровідників третього-покоління пластини та патрони з карбіду кремнію стали незамінними ключовими компонентами завдяки своїй стійкості до корозії та високій теплопровідності. Однак промислові больові точки, які виявляються під час їх обробки, давно мучать компанії, що займаються прецизійним виробництвом.
Типовий випадок обробки
Проект обробки лотка для пластин з карбіду кремнію, який здійснює певна компанія, вимагає завершення шліфування порожнини та структури канавок заготовок D380x5 мм. Твердість цього матеріалу досягає HV2,002, що близько до 1/3 твердості природного алмазу. Часті проблеми зі згортанням кромок під час обробки призвели до показника проходження менше 60%, а традиційні інструменти були списані за 159 хвилин, а обробка окремого шматка займала до 888 хвилин.
Больові точки в переробній промисловості
Матеріали SiC стикаються з трьома основними проблемами в традиційній обробці через їх високу твердість і крихкість:
Швидкість відколів країв заготовки понад 35%
Швидкість зношування інструменту в 3-5 разів вище, ніж у звичайних матеріалів
Точність контролю шорсткості поверхні ±0,5 мкм важко підтримувати стабільно
БІШЕНЬрішення інноваційної практики
У відповідь на особливі потреби обробки карбіду кремнію технічна команда BISHEN запровадила три-інноваційний процес:
• Представлення системи обробки з ультразвуковою вібрацією 20 кГц
• Налаштування вбудованої фрези з мікро-лезами PCD (кут краю R 0,02 мм)
• Розробка адаптивного алгоритму динамічного налаштування параметрів різання
Результати оновлення процесу
Виробничі дані після трансформації обладнання показують:
1. Рівень сколювання впав до менше 8%
2. Час обробки однієї частини було оптимізовано до 462 хвилин
3. Термін служби інструменту перевищив 317 хвилин
4. Шорсткість поверхні стабільно контролюється при Ra0,4 мкм
